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OTF-1200X-1I-4CV-PE-SL是一款滑動式雙溫區PECVD 管式爐系統。該系統包含等離子射頻電源,80mm 0D1800mm L的滑動式雙溫區管式爐,4通道質量流量供氣系統和機械泵機組,可用于生長納米或石墨烯材料。
OTF-1200X-50-PE-SL是一款小型滑動開啟式PECVD系統。此套設備配有等離子射頻電源,直徑為50mm的開啟式管式爐(帶有真空法蘭和連接管道)及機械泵組成。該設備模型可更新為不同類型的PECVD 系統,且設備性價比較為理想
OTF-1200X-50S-PE是一款小型等離子體氣相沉積管式爐系統(PECVD)。該設備配有等離子射頻電源,開啟式管式爐(帶有真空法蘭和連接管道)及一個直聯式雙旋機械泵。此套設備模型可組合為不同類型的PECVD系統,且設備性價較為理想。
為使化學反應能在較低的溫度下進行,常利用等離子體的活性來促進反應,這種方法稱為等離子體增強化學氣相沉積法(PECVD)。加熱爐設備的內爐膛表面涂有美國進口的高溫氧化鋁涂層,可提高設備的加熱效率,同時也可延長設備的使用壽命。
OTF-1200X-80-I-4CV-CMPE-SL是傳統PECVD與開發的智能通訊模塊組合,可對傳統PECVD實現自動化升級可自由搭配各種系統控制組合自定義CVD系統。是一款滑動式雙溫區PECVD 管式爐系統。該系統包含等離子射頻電源,100mm OD1800mm L的滑動式雙溫區管式爐,4通道質量流量供氣系統和機械泵機組,可用于生長納米或石墨烯材料。
PECVD-8-16是一款平行板電容式PECVD系統,適用于中小式生產和實驗,可放置12片6英寸基片。此系統組成:8英寸石英管管式爐,最高溫度為1100℃,一個批量型石墨舟(可放12片基片),1000W射頻電源,和一個4通道混氣系統。此設備特別適用于太陽能電池和二維材料,擴產前測試實驗。