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    產(chǎn)品中心

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    化學(xué)機(jī)械磨拋機(jī)
    簡(jiǎn)要描述:

    UNIPOL-1203化學(xué)機(jī)械磨拋機(jī),適用于CMP平坦化和平滑化工藝技術(shù), 整機(jī)研磨部分采用防腐材料,耐化學(xué)腐蝕,配置自動(dòng)滴料器和精密磨拋控制儀,全自動(dòng)觸摸屏面板,從加工性能和速度上同時(shí)滿足晶圓等面型加工的需求。

    • 產(chǎn)品型號(hào):UNIPOL-1203
    • 廠商性質(zhì):代理商
    • 更新時(shí)間:2025-03-13
    • 訪  問(wèn)  量:3175

    詳細(xì)介紹

    品牌其他品牌價(jià)格區(qū)間面議
    產(chǎn)地類別國(guó)產(chǎn)應(yīng)用領(lǐng)域醫(yī)療衛(wèi)生,化工,生物產(chǎn)業(yè),能源,電子/電池

    UNIPOL-1203化學(xué)機(jī)械磨拋機(jī),適用于CMP平坦化和平滑化工藝技術(shù), 整機(jī)研磨部分采用防腐材料,耐化學(xué)腐蝕,配置自動(dòng)滴料器和精密磨拋控制儀,全自動(dòng)觸摸屏面板,從加工性能和速度上同時(shí)滿足晶圓等面型加工的需求。 1、超平不銹鋼拋光盤(平面度為每25mm×25mm小于0.0025mm)。
    2、超精旋轉(zhuǎn)軸(托盤端跳小于0.01mm)。
    3、設(shè)有兩個(gè)加工工位,可分別進(jìn)行控制。
    4、配有全自動(dòng)控制觸摸屏面板,可設(shè)置主軸轉(zhuǎn)速、擺臂速度、磨拋時(shí)間。
    5、配置自動(dòng)滴料器,流量速率可視化調(diào)整,自動(dòng)研磨和拋光。
    6、配置GPC-100A精密磨拋控制儀,可調(diào)節(jié)壓力,修整面型,使磨拋更加方便快捷。
    7、研磨部分采用防腐材料,耐化學(xué)腐蝕。

    產(chǎn)品名稱      
    UNIPOL-1203化學(xué)機(jī)械磨拋機(jī)
    產(chǎn)品型號(hào)      
    UNIPOL-1203
    安裝條件      
    本設(shè)備要求在海拔1000m以下,溫度25℃±15℃,濕度55%Rh±10%Rh下使用。
    1、水:設(shè)備配有上水口及下水口,需自行連接自來(lái)水及排水
    2、電:AC220V 50Hz,必須有良好接地
    3、氣:無(wú)
    4、工作臺(tái):尺寸800mm×600mm×700mm,承重200kg以上
    5、通風(fēng)裝置:不需要
    主要參數(shù)      
    主機(jī)部分
    1、電源:220V
    2、功率:450W
    3、磨拋盤轉(zhuǎn)速:10-240rpm
    4、磨拋工位:2個(gè)
    5、擺臂調(diào)節(jié)檔位:1-15檔
    6、托盤端跳:0.008/250mm
    7、不銹鋼磨拋盤:φ300mm
    8、載樣盤:φ105mm
    9、修盤環(huán):φ127.5mm
    GPC-100A精密磨拋控制儀
    1、載樣盤直徑:?103mm
    2、載樣盤軸向行程:12mm
    3、數(shù)顯表精度:0.001mm
    4、載樣盤可調(diào)加載壓力: 0.1kg-2.1kg
    5、壓力確認(rèn)儀有效量程:1g-5000g
    6、樣品裝卡方式:真空吸附
    7、承載樣件尺寸:直徑≤103mm、 厚度≤12mm
    8、尺寸:外徑146mm,高266mm
    自動(dòng)滴料器
    SKZD-2滾筒滴料器
    1、容積:1.5L
    2、流量:0-35ml/min
    3、尺寸:170×290×350mm;
         重量:3kg
    SKZD-4自動(dòng)滴料器
    1、加液泵:4個(gè)
    2、料液瓶:600ml/瓶
    3、計(jì)時(shí)范圍:1-999min
    4、流量:0.1ml/min-10ml/min
    5、尺寸:230×370×450mm;
         重量:10kg
    產(chǎn)品規(guī)格      

    1、外形尺寸:550mm×700mm×420mm
    2、重量:74Kg













    序號(hào)名稱數(shù)量圖片鏈接
    1鑄鐵研磨盤
    1個(gè)
    2不銹鋼拋光盤
    1個(gè)
    3載物盤1個(gè)
    4
    修盤環(huán)
    1個(gè)
    5SKZD-2滴料器
    1個(gè)

    6SKZD-4自動(dòng)滴料器
    1個(gè)

    7GPC-100A精密磨拋控制儀
    1個(gè)

    8

    拋光墊

    (磨砂革、合成革、聚氨酯)

    各1片
    9
    剛玉研磨微粉
    0.5kg
    10
    石蠟棒
    4根

    序號(hào)
    名稱
    功能類別
    圖片鏈接
    1YJXZ-12攪拌循環(huán)泵
    (可選)

    2精密測(cè)厚儀
    (可選)

    3陶瓷研磨盤
    (可選)

    4玻璃研磨盤
    (可選)

    5磁性樹(shù)脂金剛石研磨片
    (可選)


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