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    產(chǎn)品中心

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    加熱型紫外臭氧清洗機(jī)
    簡要描述:

    PCE-80是一款較大型的等離子清洗機(jī),等離子腔體為&#160;8.5 “dia x 12““L的石英腔體,采用的射頻電源功率0 - 100W連續(xù)可調(diào)節(jié)。此款設(shè)備主要是通過空氣、氧氣或氬氣等氣體的等離子體來去除基片上的氧化層和污染物,同時也可改變物體表面的性質(zhì)(如親水和疏水性等)。對于基片的清洗以及薄膜處理此款設(shè)備是較為理想的實驗幫手。

    • 產(chǎn)品型號:PCE-80
    • 廠商性質(zhì):代理商
    • 更新時間:2025-03-13
    • 訪  問  量:3018

    詳細(xì)介紹

    品牌其他品牌應(yīng)用領(lǐng)域環(huán)保,化工,電子/電池
    功率最大350W

     

     

     

     

     

     

     

     

     

     

     

     

    清洗

     

     

    image.png 

     

     

    加熱型紫外臭氧清洗機(jī)

     

     

    PCE-80是一款較大型的等離子清洗機(jī),等離子腔體為 8.5 "dia x 12“"L的石英腔體,采用的射頻電源功率0 - 100W連續(xù)可調(diào)節(jié)。此款設(shè)備主要是通過空氣、氧氣或氬氣等氣體的等離子體來去除基片上的氧化層和污染物,同時也可改變物體表面的性質(zhì)(如親水和疏水性等)。對于基片的清洗以及薄膜處理此款設(shè)備是較為理想的實驗幫手。



     

     

     

    應(yīng)用

    ● 去除分子級別的污染物
    ● 紫外光固化粘合劑
    ● 紫外光催化
    ● 氧化PDMS
    ● 表面消毒
    ● 刻蝕
    ● 清洗MEMS 器件
    ● 清洗各種基片,如Si, Ge, GaAs和各種氧化物單晶基片


    主要參數(shù)

    ● 功率:最大350W

    ● AC 208~240V,單相 50/60Hz

     

    紫外燈

    ● 可發(fā)出雙波長的水銀燈

    ● 功率:55W

    ● 發(fā)出光的波長:254 nm 和 185 nm

    ● 使用壽命:2500 小時(可更換)

    ● 照射區(qū)域:200 x 200 mm

     

    排氣口

    ● 直徑為80mm的排氣口安裝在儀器后端

    ● 請將橡膠管與排氣口連接,將臭氧排出到實驗室外

    ● 儀器中不包含橡膠管

     

    外形尺寸

    510mm x 350mm x 400mm (W x H x D)

    凈重28kg

    腔體&樣品臺

    ● 不銹鋼殼體

    ● 抽屜式樣品臺,以便放樣取樣

    ● 樣品臺面積310 mm x 320 mm

    ● 臭氧通風(fēng)裝置安裝在腔體上

    ● 樣品臺與紫外燈的距離:20mm -40mm(可調(diào))

    ● 樣品臺可以加熱,最高溫度可達(dá)150℃

    ● 可設(shè)置20段升降溫程序,控溫精度為+/-1℃

    ● 設(shè)備運(yùn)行時間:0.01 秒- 99.9小時

     

    環(huán)境要求

    ● 僅室內(nèi)使用; 海拔高度5500英尺以內(nèi);

    ● 溫度范圍:41-104華氏度;

    ● 最大相對濕度80%,最高87華氏度,104華氏度線性降至50%相對濕度;

    ● 主電源波動不超過額定電壓的10%;

    ● 污染等級2; 臭氧水平(環(huán)境)測量<45 ppb。

    保修期 一年保修,終身技術(shù)支持。

    特別提示:

    1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不包含在內(nèi)。

    2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。


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