VTC-200-4P紅外加熱噴霧旋轉涂膜機、勻膠機、顯影機、甩膠機、旋涂儀、spin coater主要用于半導體工藝、制版工藝過程中圖形的顯影及表面涂覆工藝，是一款上蓋可以加熱的勻膠機、顯影機，在勻膠或顯影過程結束后使用加熱功能使膠體薄膜中的溶劑繼續(xù)蒸發(fā)到含量低。工作過程中顯影液或膠體以霧狀噴到樣片上，使溶液在樣片表面均勻分布，有利于薄膜和顯影過程的順利進行。

主要特點

1、采用橡膠吸盤和磁力鋼片模板固定樣件，不僅樣件取放自如，而且操作簡便；橡膠吸盤和磁力鋼片模板大小可根據(jù)需要進行定制。
2、該機上蓋具有紅外加熱功能，可以使溫度保持在一個穩(wěn)定值。
3、本機上蓋具有4組噴嘴，可使膠體以霧狀噴在樣片表面，使薄膜更均勻。
4、電機部分、溫度控制部分、注液部分分別使用獨立電源的方式，電機調(diào)速系統(tǒng)則采用了抗干擾性高的PLC進行控制，數(shù)值顯示更直觀可靠，轉數(shù)在100-2000RPM內(nèi)可調(diào)。
5、涂膜機在工作時設有兩個階段，在啟動前根據(jù)實際需要，可分別進行時間1、轉速1、時間2、轉速2的設置。設置完成啟動后，涂膜機先以轉速1在時間1時間內(nèi)運轉，使涂膜物質(zhì)逐漸分散開。當時間1時間結束時，涂膜機自動進入時間2時間階段運轉，使涂膜物質(zhì)更加均勻。
6、噴霧旋轉涂覆機啟動快速、轉數(shù)穩(wěn)定，可以保證膜層厚度的均勻性與一致性。
7、在安裝結構上，采取了減震措施，降低運轉時的噪音。
8、腔體采用聚丙烯材質(zhì)，使用壽命更長，提高耐化學腐蝕性和優(yōu)異的抗應力開裂性能；機身采用鑄鋁結構，結實耐用且質(zhì)輕。

基

本

參

數(shù)

1、電源：AC220/110V、50/60Hz
2、電機功率：功率210W

3、雙轉速涂膜功能:

雙轉速及涂膜時間分別設置，在啟動后先低速運轉(滴涂膠液)，然后自動轉換到高速運轉(勻膠)。轉速穩(wěn)定（±1%），涂膜物質(zhì)均勻。

轉數(shù)1：100-2000 RPM有效
時間1：1--200s有效
轉數(shù)2：100-2000 RPM有效
時間2：1--200s有效
4、適用于Φ153mm樣件涂膜。
5、上蓋加熱溫度范圍：0-100℃。
6、環(huán)境溫度5-40℃，相對濕度不大于85%RH,設備周圍無強烈震源和腐蝕氣體影響。

安裝條件：

本設備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用。
1、水：設備配有進出水口
2、電：AC220V 50Hz，必須有良好接地
3、氣：不需要
4、工作臺：尺寸600mm×600mm×700mm，承重50kg以上
5、通風裝置：需要

產(chǎn)品規(guī)格：

主機外形尺寸500mm（長）×410mm（寬）×330mm（高），
重量24Kg。

可選配件：

橡膠吸盤

磁力鋼片模板（可定制）

標準配件：

1 磁性鋼片模板（Ф160mm）  1個

2 吸盤(Ф153mm)          1個

3 溫控箱                 1臺

4 蠕動泵                 6臺