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    三溫區1500℃PECVD系統
    簡要描述:

    OTF-1500X-III-4CV-PE-SL是一款三溫區1500℃的PECVD管式爐系統,該設備由射頻電源、1500℃三溫區管式爐、多通道質子混氣系統和真空系統組成。此款PECVD系統可廣泛應用于生長納米線、石墨烯及薄膜材料領域。

    • 產品型號:OTF-1500X-Ⅱ-4CV-PE-SL
    • 廠商性質:代理商
    • 更新時間:2025-03-13
    • 訪  問  量:2581

    詳細介紹

    品牌其他品牌產地類別國產
    應用領域化工,能源,電子/電池基本參數最高工作溫度1500℃(<30min);連續使用溫度1400℃

    產品特點:

    帶有石英觀察窗口的不銹鋼真空密封法蘭,便于觀察等離子發光(圖1);

    射頻電源可實現等離子增強,從而顯著降低實驗溫度;

    四通道質子流量計控制系統可以對氣體的輸送進行精確的調控;

    此款設備可安裝控制模塊,將溫度設置和溫度曲線導入到電腦(圖23);

    此款設備可選配控溫精度為±0.1℃的歐陸儀表(圖4)。

    image.pngimage.pngimage.pngimage.png 

    基本參數:

    最高工作溫度1500℃<30min);連續使用溫度1400℃

    三個PID溫度控制器及30段可編程溫控系統,控溫精度:±1℃,帶有超溫和斷偶保護;

    •·輸入電源: 208-240VAC,單相;最大功率:6.6 KW

    內爐膛表面涂有美國進口的1760度高溫氧化鋁涂層,可以提高設備加熱效率及反射率,同時延長儀器的使用壽命。

    注意:此設備不標配爐管。購買前請與我們銷售確定爐管相關事宜。

     

    射頻電源:

    image.png 

    真空系統:

    •·采用TRP-12的雙旋真空泵;

    • KF25卡箍及波紋管用于連接管式爐與真空泵;

    真空度可達10-2Torr

    供氣系統(可選):

    客戶可選購四通道質子流量計控制系統實現氣體流量的精確控制(精確度:±0.02%;

    流量范圍:

    image.png 

    電壓:208-240VAC50/60Hz

    氣體進出口配件:6mm OD的聚四氟管或不銹鋼管;

    不銹鋼針閥用于手動控制氣體進出;

    • PLC觸摸屏可以簡便地進行氣體流量設置。

    產品尺寸和重量:

    爐體尺寸: 550mm L'380mm W'520mm H

    爐體下端移動柜:1800mm L'600mm W'600mm H

    凈重:100 kg

    運輸重量:550 kg

    承諾:

    一年保質期,終身維護,不包括爐管,硅膠密封圈和加熱元件


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