OTF-1200X-50-PE-SL是一款小型滑動開啟式PECVD系統(tǒng)。此套設備配有等離子射頻電源，直徑為50mm的開啟式管式爐（帶有真空法蘭和連接管道）及機械泵組成。該設備模型可更新為不同類型的PECVD 系統(tǒng)，且設備性價比較為理想

產品型號：OTF-1200X-50S-PE-SL
廠商性質：代理商
更新時間：2025-03-13
訪問量：2346

產品咨詢聯(lián)系我們

產品分類CLASSIFICATION

相關文章ARTICLES

查看全部

詳細介紹

品牌	其他品牌	產地類別	國產
應用領域	化工,能源,電子/電池

產品特點：

•一射頻電源可實現等離子增強從而顯著降低實驗溫度;

•可通過爐體滑動達到快速升溫和降溫；

•可通過射頻電源的頻率來控制薄膜的應力;

•可通過工藝調節(jié)來控制化學計量；

•可沉積各種材料，如SiOx，SiNx，SiOxNy和(a-Si:H)等。

加熱爐參數：

•最高溫度：1100℃（<30min）：連續(xù)工作溫度：1000℃：

•PID溫度控制器及30段可編程溫控系統(tǒng)，控瀝精度：±1℃；

•輸入電源：208- 240V AC，功率：1.2KW：

•爐膛保溫材料采用高純氧化鋁多晶纖維，并且內爐膛表面涂有美國進口的高溫氧化鋁涂層，可以提高加熱效率，反射率及延長儀器的使用壽命

射頻電源：

真空系統(tǒng)：

•·采用TRP-12的雙旋真空泵；

• KF25卡箍及波紋管用于連接管式爐與真空泵；

•真空度可達10-2Torr。

供氣系統(tǒng)（可選）：

•客戶可選購四通道質子流量計控制系統(tǒng)實現氣體流量的精確控制（精確度：±0.02%）;

•流量范圍：

•電壓：208-240V， AC， 50/60Hz；

•氣體進出口配件：6mm OD的聚四氟管或不銹鋼管;

•不銹鋼針閥用于手動控制氣體進出；

• PLC觸摸屏可以簡便地進行氣體流量設置。

產品尺寸和重量：

•尺寸：1500mm L'600mm W^1200mm H

•·凈重：160 kg

•運輸重量：220 kg

質保：

一年保質期，終身維護，不包括爐管，硅膠密封圈和加熱元件

產品咨詢

留言框

產品：
您的單位：
您的姓名：
聯(lián)系電話：
常用郵箱：
省份：
詳細地址：
補充說明：
驗證碼：

請輸入計算結果（填寫阿拉伯數字），如：三加四=7

上一篇：OTF-1200X-50S-PE小型PVE管式爐系統(tǒng)
下一篇：OTF-1200X-Ⅱ-4CV-PE-SL-UL滑動式雙溫區(qū)PECVD

OTF-1200X-50-PE-SL是一款小型滑動開啟式PECVD系統(tǒng)。此套設備配有等離子射頻電源，直徑為50mm的開啟式管式爐（帶有真空法蘭和連接管道）及機械泵組成。該設備模型可更新為不同類型的PECVD 系統(tǒng)，且設備性價比較為理想

留言框

產品：

您的單位：

您的姓名：

聯(lián)系電話：

常用郵箱：

省份：

詳細地址：

補充說明：

驗證碼：