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    小型PVE管式爐系統
    簡要描述:

    OTF-1200X-50S-PE是一款小型等離子體氣相沉積管式爐系統(PECVD)。該設備配有等離子射頻電源,開啟式管式爐(帶有真空法蘭和連接管道)及一個直聯式雙旋機械泵。此套設備模型可組合為不同類型的PECVD系統,且設備性價較為理想。

    • 產品型號:OTF-1200X-50S-PE
    • 廠商性質:代理商
    • 更新時間:2025-03-13
    • 訪  問  量:2471

    詳細介紹

    品牌其他品牌產地類別國產
    應用領域化工,能源,電子/電池加熱爐參數:?最高溫度:1100℃(《30min);連續工作溫度:1000℃

    產品特點:

    射頻電源可實現等離子增強從而顯著降低實驗溫度;

    整套設備尺寸小巧;

    可通過工藝調節來控制化學計量;

    可通過射頻電源的頻率來進行控制薄膜的應力。

    加熱爐參數:

    最高溫度:1100℃(《30min);連續工作溫度:1000℃

    •PID溫度控制器及30段可編程溫控系統,控溫精度:±1℃

    輸入電源:208- 240V AC,功率:1.2KW

    爐膛保溫材料采用高純氧化鋁多晶纖維,并且內爐膛表面涂有美國進口的高溫氧化鋁涂層,可以提高加熱效率,反射率及延長儀器的使用壽命。

    射頻電源:

    image.png 

    真空系統:

    采用TRP-12的雙旋真空泵;

    •KF25卡箍及波紋管用于連接管式爐與真空泵;

    真空度可達10-2Torr

    產品尺寸和重量:

    尺寸:1500mm L'600mm W'1200mm H

    凈重: 75 kg

     

    質保:

    一年保質期,終身維護,不包括爐管,硅膠密封圈和加熱元件


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