PECVD-8-16是一款平行板電容式PECVD系統，適用于中小式生產和實驗，可放置12片6英寸基片。此系統組成：8英寸石英管管式爐，最高溫度為1100℃，一個批量型石墨舟（可放12片基片），1000W射頻電源，和一個4通道混氣系統。此設備特別適用于太陽能電池和二維材料，擴產前測試實驗。

爐體結構：

•高純氧化鋁纖維作為爐膛材料

•采用三可加熱區，可達到600mm長的恒溫區

•外徑304mm.內徑203mm的石英管,帶有不銹鋼密封法蘭

•一個電動滑軌，上面裝載石墨舟和樣品

•高純石墨舟，可轉載12片圓片或方形片，尺寸可達6英寸

• 1000W RF（13.5MHz）等離子電源

• 4通道混氣系統

•可選購真空泵（油泵或無油泵）

電源要求：

•208-240VAC，單相，50/60Hz

• 9KW

石英管，法蘭

•外徑304mm×內徑203mm×長度1300mm

•設備包含一根石英管，可購買備用石英管

•配有SS304不銹鋼法蘭，帶有KF40真空接口&閥門和進氣口&出氣口

•安裝有一套雙滑軌，直流電機驅動法蘭和樣品舟移動進出石英管

石墨舟：

•石墨舟采用高純石墨（產自日本）制作，帶有RF電極

•12個插槽（4×3）可裝載樣品尺寸6英寸×6英寸×0.5mm厚度或直徑6英寸圓片

•客戶可定制石墨舟（4×4或5×4）

管式爐:

•加熱元件：NiCrAl合金絲

•加熱區：3個加熱區（300mm十300mm十300mm）

•恒溫區：600mm(+/- 2°C, 3個溫區設置同樣的溫度)

•工作溫度：400-1100℃

•最大加熱冷卻速率：10℃/min

退溫系統：

•3塊3000型歐陸（Eurotherm）儀表，可設置24段升降溫段

•3根K型熱電偶

•控溫精度：+/- 0.1°c

•包含軟件和PC界面模塊

射頻等離子電源：

•輸出功率：20-1000W（可調節，穩定性± 1%）

• RF頻率：13.56MHz

•匹配方式：自動匹配

•冷卻：空氣冷卻

•噪音：<50dB

•輸入電源：110-240VAC，50/60Hz

供氣系統：

•4個質量流量計安裝在一個移動架內，控制精度：±1.5%FS，重復精度:±0.2%FS

•控制1： 0~100SCCM

•控制2： 1~199SCCM

•控制3： 1~199SCCM

•控制4： 1~499SCCM

•觸摸屏控制，設置各種參數

•安裝有RS485接口，用于通過PC遠程控制

•每個工位的流量控制范圍可按客戶要求定制

真空泵，真空計：

•一個防腐型數顯真空計，測試范圍可達到10-5torr

•設備使用需要真空泵，可在本公司選購各種真空泵

凈重:

500kg

質保：

一年保質期，針對電器和機械部分，不包括加熱元件，石英管，密封圈