半柜式/全柜式清洗機
適合于8英寸及以下晶圓的單片清洗工藝
根據客戶要求可選配高壓、兆聲、二流體等多種清洗工藝
不銹鋼半柜式、柜式柜體,觸摸式人機交互界面
耐腐蝕透明觀察窗,配置專業排風及排廢系統
可配置清洗液、氮氣溫控功能
可配置增壓泵高壓清洗
高精度清洗臂,可靈活設置清洗工藝

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