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      3靶等離子濺射儀--VTC-16-3HD
      
    
        
    簡要描述：
    VTC-16-3HD是一款緊湊型CE認證的等離子薄膜濺射儀（直流普通型），基片Z大尺寸2英寸，加熱溫度為500度和控制面板為觸摸屏模式。它可以濺射三種類型的靶材和放置樣品的直徑是50mm . 旋轉樣品臺，可以依次在同一樣品上涂覆三種材料，金靶，銀，銅, 它可以與真空泵，不銹鋼波紋管KFD25快速卸裝卡箍相連用.
    
      
    
      
      
        
    • 產品型號：
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    • 廠商性質：代理商
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    • 更新時間：2025-03-11
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    • 訪  問  量：3898
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    詳細介紹
    
      
    
      
      
    

                
    
                	
                    
    
                        
                            
                        
                    
    
                
    
      
    技術參數
    輸入功率
    • 110V / 220V 通用
    • < 2000W (含真空泵)
    輸出功率
    • 1600VDC
    • 大電流50mA 
    樣品室
    石英罩： 160 mm Dia. x 120mm Height
    加熱樣品臺
    • 一個外徑50 mm 的樣品臺, 可以移動三個位置 
    • 基片可以放在樣品臺上. 加熱溫度 500°C
    • PID控溫方式和觸摸屏面板，控溫精度+/-10°C 
    • 長濺射時間不可超過5分鐘
    控制面板
    • 控制面板為PLC，4.3" 觸摸屏
    • 一個控制面板可以控制所有的參數,包括真空度 , 電流 , 靶材位置 和 基片加熱溫度
    可選
     
     
    • KF25 真空接口、卡箍，和600mm長不銹鋼波紋管
    • 120L/M旋片式真空泵（包含在儀器內）
    • 不銹鋼波紋管與KF-25真空接口相連接
    • 各種高純度金屬靶
    • 需要一個帶壓力調節器的氬氣瓶 （這個我們不提供）
    進氣口
     一個精密可調針閥安裝在進氣口，以實現方便的調節進氣量


    靶材
     
     
    標配靶材分別有
    • 金，銀，銅 靶材: 
    • 尺寸: 金靶  47 mm dia. x 0.12 mm, 1pcs
           銀靶  47 mm dia. x 0.5 mm,  1pcs
           銅靶  47 mm dia. x 2.0 mm, 1pcs
    • 可選靶材點擊鏈接、
      Pt , Ag target , Zinc tarhetD 
     外形尺寸
      
     
    • 360mm × 350mm × 360mm (L×W×H)
    • 凈重:50KG
    質保期
    一年質保期，相關耗材除外，終身維護。
    質量認證
       Certified
     
     
    
      
    
        
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