OTF-1200X-4-RTP 是一款精巧型快速熱處理管式爐，配有4“ 石英管和真空法蘭， 它是專為半導體或太陽能電池基片（Z大達3“）的退火而設計，采用10KW紅外燈管加熱Z快升溫速度為 50°C/秒. 30 段溫度控制，精度為 +/-1°C. 計算機通過RS485口和控制軟件實時控制爐子和顯示溫度曲線 。

爐體結構

• 雙層莫來石鋼構（不帶水冷或風冷）

• 內(nèi)爐膛表面涂有美國進口的高溫氧化鋁涂層可以提高設備的加熱效率，同時也可以延長儀器的使用壽命

加熱元件

8 根紅外燈管 (D=10 L=300 T =200, mm）

加熱區(qū)

12" length with 4"X12"恒溫區(qū)（ +/-5oC ）

石英管和樣品架

• 石英管尺寸: 4.33" O.D x 4.05" I.D x 15" Length

• 3" 的樣品架固定在滑動法蘭上，石英材料

• 一片3"  AlN 片放在樣品架上用來放置需要退火的樣品。

• AlN 具有很高的熱導率，所以在樣品放置的區(qū)域有很好的溫度均勻性+\- 5°C

真空法蘭

• 帶KF-D25 高真空法蘭由不銹鋼制作，兩個高溫“O"型圈密封

• 滑動法蘭使裝載樣品很容易. 3" 樣品架和內(nèi)插式熱偶保證了溫度的準確。

水冷

如果要求通冷卻水.

• 請確定冷卻水流速 ≥ 3L/min, 水溫 < 20oC; 水壓 > 25 PSI

• 我們建議采用 循環(huán)水制冷器作為冷卻系統(tǒng)（為了節(jié)約用水）.

• 警告:  這款 RTP 爐在1000oC ~ 1100oC下保溫時間不超過 600 秒，否則“ O"圈將被燒融
  
  

流量計

范圍： 16 - 160 ml/min

真空表

• 數(shù)字真空表，測量范圍：10mtorr~800 torr .

• 可選：本公司進口的防腐型數(shù)字式真空顯示計，其測量范圍為3.8x10-5 至 1125 Torr. 不需因測量氣體種類不同而需要系數(shù)轉換。
  

真空度

• 用機械泵真空度達 50 mtorr .

• 用分子泵真空度可達 10^-4 torr .

溫度控制

PID 自動控制， 可控硅 SCR

熱偶

進口K 型熱偶, 緊貼在放樣品的AlN片下。

溫控儀

• PID 自動控制，30段程序帶過熱和斷偶保護功能

• 熱偶: 進口K type

• 自整定功能

• 控溫精度: +/- 1°C

• RS485 串口和溫控軟件（模塊和數(shù)據(jù)線需要另購）   溫控操作視頻：點擊查看

快升溫速度

室溫~800℃： 50 ^oC/sec ，800℃~1000℃： 10^oC/sec

快降溫速度

60oC/min (在 200 mtorr下), 117oC/min (在一個大氣壓下)

選擇:  為得到較快的降溫速度 < 10°C/秒, 你可以選擇帶滑軌的 RTP 爐，如下圖:

溫度

高1100oC ，額定1000°C

電源

208-240 AC, 50/60 Hz 單相, 9 KW Max. (> 60A 保險)

尺寸

760 X 330 X 530 mm (30"W x 13"L x 21" H)

重量

45 kg (100 lbs)

保修期

電器部分一年質(zhì)保期 (耗材：如爐管，“O"型圈和加熱燈管等不在保修范圍內(nèi)）

認證

 CE 認證

商品編碼

名稱

數(shù)量

圖片

EQ-CVM-211

數(shù)字真空計： 10^-4 Torr

1

RT36-00

63A保險

2

RT14-20

4A保險

2

RTP-ACC-01

石英樣品架

1

AIN-Holder

樣品架上的AlN基片

KSL7-05

高溫手套, 耐 900 ^oC

1 pair

EQ-QZTube-RTP

石英管: 4.33" O.D x 4.05" I.D x 15" Length

1

RTP-ACC-02

石英擋板

4pcs  

聚氨酯水管 O.D. 12mm I.D. 8mm

1

高溫硅膠圈(6 個）

9

EQ-RTP-Halogen-light

紅外燈管

8

水管接頭

2

一對真空法蘭

1

N/A

為了獲得較高的真空，我們建議使用 KF25 適配器和不銹鋼真空管 (達50 mtorr),

名稱

數(shù)量

l圖片

真空泵, 兩級旋片Two Ste高速真空泵和兩級排氣系統(tǒng)和KF-D25 適配器(110V or 220V)

1

配KF-D25口的波紋管  (1m)

1

KF-D25 真空快接

1