三通道混氣CVD系統(tǒng)的使用注意事項

雙層殼體結構并帶有風冷。

保溫材料采用高純氧化鋁多晶纖維，可以減少熱量的損失，環(huán)保節(jié)能。

內爐膛表面涂有美國1750度高溫氧化鋁涂層可以提高設備的加熱效率，同時也可以延長儀器的使用壽命可開啟式，更換爐管方便。

溫控系統(tǒng)：

三個精密溫度控制器，可獨立控溫PID控制方式，通過PWM固體繼電器。

30段可編程智能溫度調節(jié)儀，并可設置30段升降溫程序。

帶有過熱和斷偶保護功能。

使用注意事項：

爐管內氣壓不可高于0.02MPa。 

由于氣瓶內部氣壓較高，所以向爐管內通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa會更加精確安全。 

當爐體溫度高于1000℃時，爐管內不可處于真空狀態(tài)，爐管內的氣壓需和大氣壓相當，保持在常壓狀態(tài)。 

進入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊。

石英管的長時間使用溫度＜1100℃對于樣品加熱的實驗，不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關注壓力表的示數，若氣壓表0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐管破裂，法蘭飛出等）。