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真空管式爐的安全使用注意事項

更新時間：2024-12-06 點擊次數：2131

    真空管式爐是在真空環境中進行加熱的設備，一般由爐膛、電熱裝置、密封爐殼、真空系統、供電系統和控溫系統等組成。真空爐按加熱元件分為真空電阻爐、真空感應爐、真空電弧爐、真空自耗電弧爐、電子束爐和等離子爐等。

    真空管式爐一般在春秋季節泄漏故障較多，長期閑置的真空爐在才次使用時真空爐泄漏故障比較易發生。

    這時間就必須進行真空檢漏，真空檢漏一般采取每月一次測壓升率(在常溫下，關閉所有真空閥，停止真空系統運轉，1Omin后讀一個數，1h后再讀一個數，兩數之差是壓升率的數值)，掌握設備泄漏變化趨勢，如真空設備連續停機一個禮拜，要空運轉一次（進行烘爐）。

    1、在實驗工作完畢以后，要關特殊氣體，保留N2流動即可。真空氣氛爐管要保持在standby溫度，并要仔細查看其它電源是否關閉，如果沒有就隨手關閉。

    2、在晶片進出爐口承接boat的holder的時候，盡量不要碰觸管式爐的爐管口，以免爐管受到污染。

    3、在沒有使用到時，要將爐子的長短推桿的前端朝上放置，以免污染。

    4、在使用管電爐時還要避免吸入從爐子或者是處理槽所冒出的各種氣體，以便發生中毒的情況。

    5、工件--工件車須經清洗干燥后方克進入爐內，防止水份、污物進入爐內。

    6、各傳動件發現卡位，限位不準，控制失靈等現象時，應立即排除，不要強操作，以免損壞機件。

    在試驗過程中，請節約純水的使用，一旦發現安全隱患或者不正常的現象時，要盡快通知有關技術人員，以防止事故的發生。

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