3靶等離子濺射儀操作使用步驟

3靶等離子濺射儀的使用分3個步驟，即裝樣品、抽真空、濺射，待廠家為您一一講解：

　　一、裝樣品
　　1、充氣：打開充氣旋鈕，使得空氣進入鐘罩。
　　2、開電源總開關，接通電源。
　　3、升鐘罩：將“升"開關撥到下方，待鐘罩升到合適位置時，按住“停"按鈕，鐘罩停止上升，將“升"開關撥回到上方。
　　4、放樣品：將放有樣品的載物臺固定到鐘罩中。
　　5、降鐘罩：按一下“降"按鈕，鐘罩開始往下降，降到適當的位置使得鐘罩密封時自動停止。（注意，在鐘罩將要降到底時可以在前邊稍往上抬鐘罩，以保證鐘罩的密封效果，利于后面的真空抽取。）
　　6、將充氣旋鈕旋緊。
　　二、抽真空
　　1、抽低真空：樣品裝好后，再一次確認充氣旋鈕已旋緊。然后將電源開關旋鈕打到機械泵，打開低真空計。
　　2、（逆時針）旋轉管道閥門Ⅰ，在旋轉到zui滿時回旋1-2圈；過一會后（一般這時候真空機壓強在10Pa左右），逆時針旋轉打開管道閥門Ⅱ。
　　3、上面步驟完成后，機械泵抽一段時間后，當真空計讀數在6-5Pa左右時，可打開擴散泵。
　　4、通冷卻水，再將電源開關旋到擴散泵。
　　5、約半小時后，關閉管道閥門Ⅰ，（逆時針、打開打開擴散泵旋鈕（至滿回旋1-2圈、。這時候低真空計壓強將會突然變大，待壓強再一次回到
　　10Pa后，打開高真空計（方法看下一步、。
　　6、抽高真空：按下高真空計電源開關，再按下燈絲按鈕；將壓強檔打到10-1檔，抽真空到壓強小于1×10-1Pa時，可打到10-2檔，依次類推，知道滿足自己的需要（一般zui大能達到×10-3檔、。
　　三、濺射
　　1、先講濺射裝置打開，有加速電壓、中和電壓、陰極電流和陽極電壓。（注意還有外接的毫安表，這是用來測試流過靶材的電流。、
　　2、先將真空計回旋一檔（×10-2、，通A氣，當達到滿足的要求時位置（通氣時要慢慢的旋轉通氣旋鈕，防止通氣忽大忽小不易控制。、
　　3、調加速電壓（如200V），屏級電壓（如1000V），陰極電流（如12A）和陽極電壓（如55V）進行濺射。（調劑經驗：在加速電壓調好后，先調節屏級電壓到要求值，然后調節陰極電流和陽極電壓到比預定值稍小，zui后通過協調這三個旋鈕調出束流。一般調出束流后，屏級電壓調至合適就不要再跳，陰極電流對束流的影響較大，當束流合適后，也不易再跳，主要通過陽極電壓來控制束流為一定值。）
　　4、濺射到要求時間后，將陰極電流、陽極電壓和屏級電壓旋到zui小，等到屏級電壓顯示值為零時，關閉他們對應的電源開關。
　　5、將高真空計檔打到10-1檔，關高真空計燈絲和電源開關，關低真空計。
　　6、旋緊擴散泵旋鈕，將電源開關由擴散泵打到機械泵，繼續通冷卻水。
　　7、待大約半小時以后，擴散泵冷卻，關閉機械泵，關總電源開關，關冷卻水。