真空管式爐充工作氣體（氫氣-惰性氣體）方法

真空管式爐充工作氣體(氫氣-惰性氣體)方法

　　一、使用氫氣作為工作氣體時(shí)

　　1.接通氫氣氣路，對(duì)各接頭處用肥皂水檢漏，確認(rèn)不漏氣。

　　2.確認(rèn)各閥門處于關(guān)閉狀態(tài)。

　　3.逆時(shí)針旋轉(zhuǎn)旋鈕開(kāi)氫氣瓶主閥，順時(shí)針旋動(dòng)旋鈕，緩慢打開(kāi)出口減壓閥，使出口氣壓在0.1MPa。

　　4.接通機(jī)械泵電源，打開(kāi)管式爐出口閥和機(jī)械泵氣路上的兩個(gè)閥門，抽5分鐘。

5.關(guān)閉機(jī)械泵氣路上的兩個(gè)閥門，關(guān)閉管式爐出口閥門，關(guān)機(jī)械泵。

6.逆順時(shí)針打開(kāi)上氣路控制閥，使箭頭指向“開(kāi)"位置。

7.逆順時(shí)針調(diào)節(jié)流量計(jì)旋鈕，使示數(shù)在20ml/min。

　　8.逆時(shí)針旋動(dòng)旋鈕，打開(kāi)管式爐進(jìn)氣閥，直至氣壓表讀數(shù)為零。9.打開(kāi)管式爐進(jìn)氣閥，打開(kāi)氫氣氣路上的紅色出口閥門。

　　10.在通氫氣滿十分鐘后，才能開(kāi)始加熱管式爐。加熱前，逆時(shí)針調(diào)節(jié)流量計(jì)旋鈕，使錐形瓶中氣泡出現(xiàn)的速度為2個(gè)/秒鐘。

　　二、使用惰性氣體作為工作氣體時(shí)：

　　1.接通工作氣體氣路，將管式爐氣體出口端連接機(jī)械泵。2.打開(kāi)管式爐進(jìn)氣閥，合上真空泵電源，打開(kāi)出氣閥（注意把住法蘭，避免爐管受力過(guò)大），抽空剛玉管和氣體管路。

　　3.當(dāng)管式爐真空表到-0.1（指針到盡頭時(shí)），關(guān)閉出氣閥，關(guān)閉進(jìn)氣閥。

　　4.逆時(shí)針旋動(dòng)旋鈕開(kāi)氣瓶主閥，順時(shí)針旋動(dòng)旋鈕，緩慢打開(kāi)出口減壓閥，使出口氣壓在0.004MPa（2小格）。5.逆時(shí)針旋動(dòng)旋鈕，緩慢打開(kāi)管式爐進(jìn)氣閥；密切注意管式爐氣壓表，確認(rèn)氣壓在0.08MPa以下（如氣壓高于0.08MPa，打開(kāi)管式爐出氣閥放氣）。

　　6.管式爐氣壓表當(dāng)氣壓穩(wěn)定時(shí)，關(guān)閉管式爐進(jìn)氣閥，打開(kāi)出氣閥，抽真空到-0.1，關(guān)管式爐出氣閥。

　　7.重復(fù)4、5步兩次。

　　8.關(guān)機(jī)械泵，打開(kāi)管式爐進(jìn)氣閥。